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无油真空泵的工作原理及应用领域

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无油真空泵的工作原理及应用领域

发布日期:2020-03-26 作者: 点击:

无油真空泵又名无油干式真空泵,属于干式真空泵,(又简称干式机械泵)
    从上一次的全球峰会,到近日的国家两会,走在提出:低碳、环保。节能的环保理念。油润滑真空泵的使用会排出一定的二氧化碳和废气。在真空行业中,我们都建议使用干式泵

无油真空泵的工作原理及应用领域

    工作原理
    无油真空泵由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子,偏心地安装在定缸内,当转子高速旋转时,转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室,由于离心力作用,旋片紧贴在缸壁,把定子进排出口分离开来,周而复始运转,进行变容,将吸入气体,从排气口排出,从而达到抽气目的。
    无油真空泵常见应用领域:
    1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
    2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
    3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
    4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
    5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

本文网址:http://www.chqsblaw.com/news/509.html

相关标签:无油真空泵的工作原理及应用领域,干式真空泵,干式机械泵

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